%0 Journal Article
%T Физические аспекты формирования химически активной среды в плазме хлора при импульсном питании разряда
%A Ситанов, Д.В.
%K плазма, взаимодействие, процесс, переходные процессы, хлор, кремний
%J От химии к технологии шаг за шагом
%D 2023
%N 4
%P 12
%I Ярославский государственный технический университет