TY  JOUR
TI  Физические аспекты формирования химически активной среды в плазме хлора при импульсном питании разряда
KW  плазма
KW  взаимодействие
KW  процесс
KW  переходные процессы
KW  хлор
KW  кремний
JO  От химии к технологии шаг за шагом
AU  Ситанов, Д.В.
PY  2023
IS  4
PB  Ярославский государственный технический университет