@article{Ситанов2021роль,
author={Ситанов, Д.В.},
title={Роль химических процессов при технологической обработке арсенида галлия  в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы пониженного давления в хлоре},
journal={От химии к технологии шаг за шагом},
publisher={Ярославский государственный технический университет},
year={2021},
pages={34-42},
volume={2},
issue={4},
}