%0 Journal Article
%T Роль химических процессов при технологической обработке арсенида галлия  в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы пониженного давления в хлоре
%A Ситанов, Д.В.
%K процесс, стадии, травление, концентрация, частицы, рекомбинация, плазма
%J От химии к технологии шаг за шагом
%D 2021
%N 2
%P 8
%I Ярославский государственный технический университет