TY  JOUR
TI  Роль химических процессов при технологической обработке арсенида галлия  в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы пониженного давления в хлоре
KW  процесс
KW  стадии
KW  травление
KW  концентрация
KW  частицы
KW  рекомбинация
KW  плазма
JO  От химии к технологии шаг за шагом
AU  Ситанов, Д.В.
PY  2021
IS  2
PB  Ярославский государственный технический университет