@article{Ситанов2021the,
author={Ситанов, Д.В.},
title={The role of chemical processes in the technological treatment of gallium arsenide under conditions of low-temperature non-equilibrium plasma reduced pressure in chlorine},
journal={От химии к технологии шаг за шагом},
publisher={Ярославский государственный технический университет},
year={2021},
pages={85-92},
volume={2},
issue={4},
}