%0 Journal Article
%T The role of chemical processes in the technological treatment of gallium arsenide under conditions of low-temperature non-equilibrium plasma reduced pressure in chlorine
%A Ситанов, Д.В.
%K 
%J От химии к технологии шаг за шагом
%D 2021
%N 2
%P 7
%I Ярославский государственный технический университет