TY  JOUR
TI  The role of chemical processes in the technological treatment of gallium arsenide under conditions of low-temperature non-equilibrium plasma reduced pressure in chlorine
KW  
JO  От химии к технологии шаг за шагом
AU  Ситанов, Д.В.
PY  2021
IS  2
PB  Ярославский государственный технический университет