00881naa#a2200169#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200032700094210013000421215001000551608004500561675002900606700006000635856001600695RU\\bibl\8251720240921073711.6##a2782-1900##a20211223b2021####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aРоль химических процессов при технологической обработке арсенида галлия  в условиях низкотемпературной неравновесной плазмы пониженного давления в хлореeЖурнальная статья1#aЯрославльcЯрославский государственный технический университетd2021##a8 с.##aЖурнальная статья2local##aсредняя. 66-914.5#1aСитановgДмитрий Вячеславович4#acomincon.ru