00788naa#a2200181#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046101000800087102000700095200020900102210013000311215001000441608004500451675003400496700006000530856001600590RU\\bibl\8253020241223012029.1##a2782-1900##a20211223b2021####ek#y0rusy0150####ca0#aENG##aRU1#aThe role of chemical processes in the technological treatment of gallium arsenide under conditions of low-temperature non-equilibrium plasma reduced pressure in chlorineeЖурнальная статья1#aЯрославльcЯрославский государственный технический университетd2021##a7 с.##aЖурнальная статья2local##aсредняя. 66-914.5zENG#1aСитановgДмитрий Вячеславович4#acomincon.ru