00788naa#a2200181#i#450# RU\\bibl\82530 20241105194614.2 2782-1900 20211223b2021####ek#y0rusy0150####ca ENG RU The role of chemical processes in the technological treatment of gallium arsenide under conditions of low-temperature non-equilibrium plasma reduced pressure in chlorine Журнальная статья Ярославль Ярославский государственный технический университет 2021 7 с. Журнальная статья local средняя. 66-914.5 ENG Ситанов Дмитрий Вячеславович comincon.ru